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真空的獲得方法 人們通常把能夠從密閉容器中排出氣體或使容器中的氣體分子數目不斷減少的設備稱為真空獲得設備或真空泵。目前在真空技術中，采用各種不同的方法，已經能夠獲得和測量從大氣壓力105Pa到10-13Pa，寬達18個數量級的壓力範圍。顯然，只用壹種真空泵，獲得這樣寬的低壓空間的氣體狀態(tài)，是十分困難的。 在真空獲得技術中，目前用以獲得真空的技術方法有兩種，壹種是通過某此機構的運動把氣體直接從密閉容器中排出；另壹種是通過物理、化學等方法將氣體分子吸附或冷凝在低溫表面上。 真空泵在真空系統中所承擔的工作任務 由於各種真空泵的性能除均能滿足對容器進行抽真空的共同點之外，尚具有不同之處。因此在選用時必須明確泵在真空系統中所承擔的工作任務是十分重要的，泵在各種不同工作領域中所起的作用歸納起來主要有如下幾個方面 1）在系統中做主泵 所謂主泵就是對真空系統被抽容器直接進行抽真空，以獲得滿足工藝要求所需真空度的真空泵。 2）粗抽泵 粗抽泵是指從大氣壓開始降低真空系統壓強達到另壹抽氣系統可以開始工作的真空泵。 3）前級泵 前級泵是指用於使另壹個泵的前級壓強維持在其最高許可的前級壓強以下的真空泵。 4）維持泵 維持泵是指當真空系統抽氣很小時，不能有效的利用主要前級泵。為此，在真空系統中另配壹種抽氣速度較小的輔助前級泵來維持主泵的正常工作或維持已抽空的容器所需的低壓的真空泵。 5）粗真空泵或低真空泵 粗、低真空泵是指從大氣開始，降低被抽容器的壓強後工作在低真空或粗真空壓強範圍內的真空泵。 6）高真空泵 高真空泵是指在高真空範圍工作的真空泵。 7）超高真空泵 超高真空泵是指在超高真空範圍工作的真空泵。 8）增壓泵 增壓泵通常指工作在低真空泵和高真空泵之間，用以提高抽氣系統在中間壓強範圍的抽氣量或降低前級泵抽氣速率要求的真空泵。 真空泵型號及規(guī)格的表示方法 根據中華人民共和國機械行業(yè)標準JB/T7673-95的規(guī)定，國產各種真空泵是由基本型號和輔助型兩部分組成，兩者中間為壹橫線。其表達型式為123—456。格中數字123表示基本型號，456表示輔助型號。 國產真空泵的型號通常以表3-2中的漢語拼音字母來表示。若在拼音字母前冠以“2”字，則表示泵在結構上為雙級泵。 某些真空泵系列對其抽氣速率則以幾何級數來分檔。其單位是“L/S”。共分18個等級，分別為0.2，0.5，1，2，4，8，15，30，70，150，300，600，1200，2500，5000，10000，20000，40000。真空泵系列有時也可用泵的入口尺寸來表示，其單位是“mm”。由於泵的種類較多，選用時應參閱不同生產廠家的產品說明書式樣本，是很重要的。 表3-2 常用真空泵的漢語拼音代號及名稱
代 號 名 稱 W 往復真空泵 D 定片真空泵 X 旋片真空泵 H 羅茨真空泵（機械增壓泵） YZ 余擺線真空泵 L 濺射離子泵 XD 單級多旋片式真空泵 F 分子泵 K 油擴散真空泵 Z 油擴散噴射泵（油增壓泵） S 升華泵 LF 復合式離子泵 GL 鋯鋁吸氣劑泵 DZ 制冷機低溫泵 DG 灌註式低溫泵 IF 分子篩吸附泵 SZ 水環(huán)泵 PS 水噴射泵 P 水蒸氣噴射泵
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