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標(biāo)準(zhǔn)刀具/刀具多功能涂層系統(tǒng) |
標(biāo)準(zhǔn)刀具/刀具涂層系統(tǒng) 野馬真空系統(tǒng)制造了一系列的專業(yè),卓越的吞吐量和出色的重復(fù)性PVD刀具涂層系統(tǒng)可配備多個(gè)高利率,磁增強(qiáng)非平衡磁控濺射,的HIPIMS或操縱陰極電弧蒸發(fā)沉積的陰極安排和線性離子源基板蝕刻。 工藝參數(shù),進(jìn)行配方處理和設(shè)備控制由一個(gè)完全集成的,可靠的PLC / PC系統(tǒng),帶觸摸屏和遠(yuǎn)程訪問能力。 標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)包括多個(gè)質(zhì)量流量控制器,可配置系統(tǒng),使控制存在的一系列預(yù)選功工作和惰性氣體,包括氮,各種烴類,氧/空氣和氬氣的沉積。 基板溫度通過輻射采暖選擇用熱電偶反饋控制通常范圍在200°C到最高600°C溫度敏感的鋼構(gòu)件以及允許沉積硬質(zhì)合金。 抽真空選項(xiàng)通常包括擴(kuò)散或渦輪分子系統(tǒng)與polycold單位增加抽空結(jié)合速度旋轉(zhuǎn)和羅茨鼓風(fēng)機(jī)。 3倍的行星旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤助劑涂層的均勻性,而涂層結(jié)構(gòu)控制和致密化的使用已取得的使用直流或交流電壓為標(biāo)準(zhǔn)的偏置。 產(chǎn)業(yè)規(guī)模交鑰匙的配方可以向客戶提供以下標(biāo)準(zhǔn)單片結(jié)構(gòu)刀具涂層:
| 氮化 | TICN | 氮化鋯 | ZrCN | 氮化鉻 | TiAlN涂層 | TiAlCN | AlTiN涂層 | AlCrN | 顏色 | 金 | 藍(lán)色/灰色 | 香檳酒 | 各種/銅 | 銀 | 深灰/紫 | 灰色 | 深藍(lán)色/黑色 | 灰色 | 硬度(HV) | 2500-3000 | 2400-3200 | 2000-2700 | 2000-3000 | 1800-2800 | 2300-3000 | 2500-3200 | 2400-3100 | 2600-3100 | 厚度(μm) | 1-4 | 1-3 | 1-4 | 1-3 | 1-5 | 1-4 | 1-3 | 1-4 | 1-4 | 最高使用溫度(℃) | 500 | 400 | 500 | 400 | 700 | 800 | 700 | 850 | 900 | 摩擦系數(shù)(100CR6與) | 0.5 | 0.3 | 0.5 | 0.35 | 0.5 | 0.55 | 0.4 | 0.55 | 0.5 |
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