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| 真空鍍膜設(shè)備中擴(kuò)散泵的特點(diǎn)？ |
| 發(fā)布時(shí)間：2020-09-21 瀏覽： 次 |
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擴(kuò)散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一，通常指油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵是一種次級(jí)泵，它需要機(jī)械泵作為前級(jí)泵。 工作原理 擴(kuò)散泵中的油在加熱到沸騰溫度(約為200度)后產(chǎn)生大量的油蒸氣，油蒸氣經(jīng)導(dǎo)流管從各級(jí)噴嘴定向高速噴出。 由于擴(kuò)散泵進(jìn)氣口附近被抽氣體的分壓強(qiáng)高于蒸氣流中該氣體的分壓強(qiáng)，被抽氣體的分子便不斷擴(kuò)散到高速定向蒸氣流中，隨著蒸氣流帶走。 氣體分子隨蒸氣流碰到泵壁又反射回來(lái)，再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。 經(jīng)過(guò)幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級(jí)噴嘴噴出的蒸氣進(jìn)行多級(jí)壓縮，最后由前級(jí)泵抽走，而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱，如此循環(huán)工作達(dá)到抽氣目的。 高真空泵擴(kuò)散泵主要結(jié)構(gòu)有泵體、冷卻帽、噴嘴、蒸氣導(dǎo)流管、加熱器和冷卻器等。 性能參數(shù) 通常擴(kuò)散泵的性能是以極限真空、最大反壓強(qiáng)、抽氣速率以及設(shè)置冷阱或低溫?fù)醢宥ā?/p> 1.極限真空 如果對(duì)一般油擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn)，如減少油蒸氣的返流，加分鎦裝置，合理分配加熱功率，改進(jìn)噴嘴角度設(shè)計(jì)，加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使擴(kuò)散泵性能大大改善，極限真空可達(dá)到更低的壓強(qiáng)。油擴(kuò)散泵工作壓力范圍是10^-1~10^-6Pa，起始?jí)毫φ檬菣C(jī)械泵的極限壓力，因此，油擴(kuò)散泵通常要利用機(jī)械泵作為前級(jí)泵，將真空度抽到10^-1Pa后才能開始工作。 2.最大反壓強(qiáng) 最大反壓強(qiáng)是指擴(kuò)散泵所允許的前置壓強(qiáng)最大值。如果前級(jí)泵所產(chǎn)生的壓強(qiáng)高于最大反壓強(qiáng)，則擴(kuò)散泵就不能正常工作。 3.抽氣速率 擴(kuò)散泵的抽速可根據(jù)氣體分子運(yùn)動(dòng)理論來(lái)推算出來(lái)。 4.設(shè)置冷阱及低溫?fù)醢宓脑?/p> 由于擴(kuò)散泵噴嘴噴出來(lái)的油蒸氣分子，大部分由泵壁冷凝，這是因?yàn)楸帽谕庠O(shè)置冷卻水套或冷卻管道的緣故。但是有少部分蒸氣分子被泵壁反射，散射會(huì)返回被抽空間，這種現(xiàn)象在低溫實(shí)驗(yàn)室中要特別注意。 如在擴(kuò)散泵和被抽容器之前加上冷阱或低溫?fù)醢?，這樣就能使返加的蒸氣被冷凝下來(lái)，截止了油蒸氣的返流。 影響油擴(kuò)散泵性能的因素如下： 1、油擴(kuò)散泵的返流。 2、氣體分子的反擴(kuò)散。 4、泵清洗不干凈，污染物質(zhì)留在泵內(nèi)并重復(fù)循環(huán)，影響其真空度。 |
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