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| 真空鍍膜時(shí)產(chǎn)品掉膜的原因分析 |
| 發(fā)布時(shí)間：2017-11-08 瀏覽： 次 |
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真空電鍍時(shí)產(chǎn)生掉膜的原因很多也很復(fù)雜。處理起來很棘手，可以考慮從以下幾個(gè)方面排除： 1、表面清潔度 產(chǎn)品表面潔凈度不夠，可以考慮離子源清洗時(shí)氬氣放大、時(shí)間長點(diǎn)。 2、清洗過程中的問題 鍍前清洗不到位，或更換了清洗液。 3、工藝的問題 工藝參數(shù)是否有變動(dòng)，在鍍膜時(shí)間和電流上做適當(dāng)調(diào)整。 4、靶材的問題 鈦靶是否中毒，檢查和更換。 5、真空腔是否漏氣 進(jìn)行一次撿漏。 6、產(chǎn)品表面氧化 氧化的原因很多，可以自行判斷處理。 |
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