真空系統(tǒng)升級(jí)改造、維修保養(yǎng)
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檢漏的目的在于將泄漏降低到一個(gè)可以接受的,不影響系統(tǒng)正常運(yùn)行的程度。
選擇氦氣檢漏的好處:
1、在空氣中含量低(只有5ppm),本底濃度低;
2、惰性氣體不易燃,不易爆,對(duì)環(huán)境無污染,不與其他物質(zhì)反應(yīng);
3、無毒;
4、在質(zhì)譜儀中和其他相鄰物質(zhì)可以很好的分別;
5、比空氣輕;
6、氣體分子很小,可以穿過微小的泄漏孔。
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