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| 電子產(chǎn)品濺射鍍膜靶材知識(shí) |
| 發(fā)布時(shí)間：2014-10-13 瀏覽： 次 |
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電子產(chǎn)品在各行各業(yè)中都有所應(yīng)用，而這些電子產(chǎn)品大部分都需要進(jìn)行真空鍍膜后才投入到市場(chǎng)之中，現(xiàn)在常用的真空鍍膜設(shè)備是磁控濺射真空鍍膜機(jī)，在這里，我們來講一下在濺射中所使用的靶材的知識(shí)。 一般我們使用的靶材3種類型，金屬靶材、合金靶材、化合物靶材。 硬碟使用的靶材有很多，在記錄面上鍍上多層的薄膜，每層薄膜有各自的功效，在最底層，會(huì)鍍上40nm厚的鉻或者鉻合金，增強(qiáng)結(jié)合力和抗腐蝕能力，中間再鍍上15nm厚的鈷鉻合金，再鍍上35nm厚的鈷合金，作為磁性材料，這種材料可以充分體現(xiàn)磁性和低干擾的特性，最后再鍍上15nm厚的碳薄膜。 磁頭的濺射靶材常用的是鐵鎳合金，后來又增加了一些新的化合物材料，像氮化鐵、氮化鐵鉭，氮化鐵鋁等，這些都是優(yōu)質(zhì)的磁介質(zhì)膜層靶材。 CD碟片會(huì)用上鋁膜作為反射層鍍?cè)谒芰系墓ぜ?，但?duì)于CDROM和DVDROM這些碟片，就不能使用鋁膜了，因?yàn)樵谶@些碟片上會(huì)有一層染料層，上面的物質(zhì)對(duì)于鋁而言具有一定的腐蝕性，一般會(huì)由金膜或銀膜替代。 光碟的膜層也是多層組成的，它在染料層上鍍上30nm厚的鐵鈷合金記錄層，里面混有非晶態(tài)稀土過渡元素，再鍍上20到100nm厚的氮化硅介質(zhì)層，最后鍍上鋁膜反射層。 這些需要落得磁性能，能夠記錄數(shù)據(jù)的電子產(chǎn)品，要實(shí)現(xiàn)這些功能，還是要靠各種不同物質(zhì)所濺射而成的薄膜，靠其成膜后顯示出來的晶體狀態(tài)排序來實(shí)現(xiàn)。 本文由愛加真空http://938388.cn)收集整理,版權(quán)歸原作者所有! 推薦閱讀 |
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