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| 離子鍍涂層技術(shù)分析 |
| 發(fā)布時(shí)間：2014-09-18 瀏覽： 次 |
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離子鍍膜機(jī)與蒸發(fā)鍍膜機(jī)、濺射鍍膜機(jī)相比，最大的特點(diǎn)是荷能離子一邊轟擊基體與膜層，一邊進(jìn)行沉積。 荷能離子的轟擊作用所產(chǎn)生一系列的效應(yīng)，主要有如下幾點(diǎn)： 1、膜/基結(jié)合力(附著力)強(qiáng)，真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)膜層不易脫落。由于離子轟擊基體產(chǎn)生的濺射作用，使基體受到清洗，激活及加熱，既可以去除基體表面吸附的氣體和污染層，也可以去除基體表面的氧化物。離子轟擊時(shí)鏟射的加熱和缺陷可引起基體的增強(qiáng)擴(kuò)散效應(yīng)。 既提高了基體表面層組織結(jié)晶性能，也提供了合金相形成的條件。而且，較高能量的離子轟擊，還可以產(chǎn)生一定的離子注入和離子束混合效應(yīng)。 2、離子鍍膜機(jī)由于產(chǎn)生良好的繞射性。車(chē)燈鍍膜機(jī)在壓力較高的情況下(≧1Pa)被電離的蒸汽的離子或分子在到達(dá)基體前的路程上將會(huì)遇到氣體分子的多次碰撞。 因此，可使膜材粒子散射在基體的周?chē)?。從而改善了膜層的覆蓋性。而且，多弧離子鍍膜機(jī)被電離的膜材離子，還會(huì)在電廠(chǎng)的作用下沉積在具有負(fù)電壓基體表面的任意位置上。 因此，這一點(diǎn)蒸發(fā)鍍是無(wú)法達(dá)到的。 3、鍍層質(zhì)量高。由于離子轟擊可提高膜的致密度，濺控濺射鍍膜機(jī)改善膜的組織結(jié)構(gòu)，使得膜層的均勻度好，鍍層組織致密，針孔和氣泡少。 因此，提高了膜層的質(zhì)量。 4、沉積速率高，成膜速度快，可制備30μm的厚膜。 5、鍍膜所適用的基體材料與膜層材料均比較廣泛。適用于在金屬或非金屬表面上鍍制金屬、化合物、非金屬材料的膜層。如在鋼鐵、有色金屬、石英、陶瓷、塑料等各種材料表面鍍膜。 由于等離子體的活性有利于降低化合物的合成溫度，多弧離子鍍膜機(jī)因此離子鍍比較容易地鍍制各種吵硬化合物薄膜。 由于離子鍍膜機(jī)具有上述特點(diǎn)，所以其應(yīng)用范圍極為廣泛。利用離子鍍技術(shù)可以子在金屬、合金、導(dǎo)電材料甚至非導(dǎo)電材料(采用高頻偏壓)基體上進(jìn)行鍍膜。 多弧鍍膜機(jī)沉積的膜層可以是金屬膜、多元合金膜、化合物膜;既可鍍單一鍍層，也可鍍復(fù)合膜層;還可以鍍梯度鍍層和納米多層鍍層。 采用不同的膜材，不同的反應(yīng)氣體以及不同的工藝方法和參數(shù)，可以獲得表面強(qiáng)化的硬質(zhì)耐磨鍍層，致密且化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定的耐蝕鍍層，固體潤(rùn)滑層，各種色澤的裝飾鍍層以及電子學(xué)、光學(xué)、能源科學(xué)等所需的特殊功能鍍層。 離子鍍技術(shù)和離子鍍的鍍層產(chǎn)品已得到非常廣泛的應(yīng)用。 推薦閱讀 |
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