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| 濺射真空鍍膜的優(yōu)點(diǎn)是怎樣的？ |
| 發(fā)布時(shí)間：2014-09-09 瀏覽： 次 |
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以濺射的辦法來(lái)進(jìn)行真空鍍膜，因?yàn)樗兡し绞讲煌?，一樣的鍍材所制備出?lái)的薄膜效果會(huì)不同，雖肉眼不能看出，但確實(shí)有一定優(yōu)勢(shì)。 膜厚穩(wěn)定性較好，因?yàn)闉R射鍍膜膜層的厚度和靶電流以及放電電流具有非常大的關(guān)系，電流越高，濺射效率也就越大，相同時(shí)間內(nèi)，所鍍膜層的厚度相對(duì)就大了，因?yàn)橹灰央娏鲾?shù)值控制好，需要鍍多厚，或者多薄的膜層都可以了。 當(dāng)然這個(gè)厚度是在可允許的范圍內(nèi)，而且控制好電流，無(wú)論重復(fù)鍍多少次，膜層厚度都不會(huì)變化，膜厚的穩(wěn)定性可歸結(jié)為膜厚良好的可控性和重復(fù)性。 膜層的結(jié)合力強(qiáng)，在濺射過(guò)程里，有部分電子會(huì)撞擊到基材表面，激活表面原子，且產(chǎn)生清潔作用，而鍍材通過(guò)濺射所獲得的能量比蒸發(fā)所獲得的能量高出1到2個(gè)數(shù)量級(jí)。 帶有如此高能量的鍍材原子撞擊到基材表面時(shí)，有更多的能量可以傳遞到基材上，產(chǎn)生更多的熱能，使被電子激活的原子加速運(yùn)動(dòng)，與部分鍍材原子更早互相溶合到一起，其他鍍材原子緊隨著陸續(xù)沉積成膜，加強(qiáng)了膜層與基材的結(jié)合力。 鍍材的范圍也很廣泛，因?yàn)闉R射膜是通過(guò)氬離子高速轟擊使鍍材濺射出來(lái)，不像蒸發(fā)鍍膜由于熔點(diǎn)的原因而限制只能使用熔點(diǎn)比較低的鍍材，而濺射鍍膜幾乎所有固體的物質(zhì)都可以成為鍍材。 由此可以看出，濺射真空鍍膜確實(shí)要比蒸發(fā)真空鍍膜的效果較好，其原理不同決定著濺射制備的膜層厚度更穩(wěn)定，結(jié)合力更強(qiáng)，鍍材的范圍也就更廣。 本文由愛(ài)加真空(http://938388.cn)收集整理.愛(ài)加真空專業(yè)維修各種進(jìn)口真空鍍膜機(jī)，歡迎來(lái)電咨詢! 相關(guān)閱讀 |
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