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   鍍膜設(shè)備真空泵就是真空獲得設(shè)備是用來產(chǎn)生和維持真空的裝置。利用真空泵把一特定容器的氣體抽走，使該容器中的壓強低于一個大氣壓，這就是真空獲得。

  目前鍍膜設(shè)備真空獲得所涉及的壓強范圍已有十幾個數(shù)量極。由于稀薄氣體分子在不同壓強范圍內(nèi)氣體分子運動特性不同，所以較寬量程壓力范圍內(nèi)不可能用一種真空泵來獲得。

   由于不同類型鍍膜設(shè)備真空泵的工作原理不同，而各有其特點和工作范圍。比如有些泵可直接從大氣開始工作，有些泵則必須借助前級泵才能工作

下面列舉常用真空泵的應(yīng)用特點：

(1)鍍膜設(shè)備旋片真空泵：又稱機械真空泵屬于低真空泵類。它具有從大氣直接排氣的特性，既可以單獨使用，也可作為高真空泵或超高真空泵的前級泵。

　  旋片泵的工作原理：是基于變?nèi)葑饔茫糜蛠肀３诌\動部件之間密封，靠機械的方法來密封的容積，容積周期性增大、縮小，從而達(dá)到排氣的目的。所以旋片泵極限真空度下降，噪聲大，卡死等現(xiàn)象，與油的質(zhì)量和機械轉(zhuǎn)動、零件與零件配合間隙有關(guān)。

(2)鍍膜設(shè)備油擴散泵：油擴散泵是目前生產(chǎn)中最常用的高真空泵，被廣泛用于真空電子器件的排氣車、真空冶煉、真空熱處理、真空鍍膜與真空焊接等設(shè)備中。它的主要特點是在高真空下。對各種氣體都有很高的抽速，使用維護都很方便，無機械運動，不易損壞，但不足之處不能單獨使用，必須有前級泵方可工作，測試前級壓力需達(dá)到1.33Pa。

　  油擴散泵是一種蒸氣流泵，其工作原理利用蒸流的作用來將低密度氣體壓縮為較高密度使其達(dá)到機械泵能夠作用氣體壓強范圍被抽走。由于油分子量是空氣分子量15～20倍，油分子能比空氣大一個數(shù)量級，泵油在加熱情況形成每秒200m 定向運動的蒸氣流是油擴散泵關(guān)鍵。

    由此看來，若要擴散泵正常工作：
a．?dāng)U散泵在加熱時必須有足夠大的蒸氣壓，而在冷卻后要有足夠低的蒸氣壓。
b．一定要有前級泵才能工作，因只有油蒸氣流密度遠(yuǎn)大于空氣密度時才能形成高速氣流。
c．要有足夠的加熱功率，使油鍋內(nèi)油迅速蒸發(fā)，通過噴嘴形成定向射流。
d．要有足夠的冷卻能力，使油蒸氣碰到泵壁時能很快地冷凝為液體返回油鍋，否則冷卻不夠產(chǎn)生反擴散，降低真空度。
(3)分子泵：渦輪分子泵是靠高速轉(zhuǎn)子攜代氣體分子獲得超高真空的一種機械式真空泵，工作壓力范圍為10-1～10-8pa，它具有抽速較大，抽速范圍很寬的特點，分子泵適用于要求清潔的高真空和超高真空的設(shè)備上使用，但它不能直接對大氣排氣，需要配置前級泵、由于分子泵屬于分子動能泵在大氣壓下啟動分子泵、分子密度過大、泵工作要發(fā)熱損壞。

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