多弧磁控真空鍍膜機(jī)其工作原理是在真空狀態(tài)下,使用弧光放電和輝光放電的工作原理。在金屬和非金屬的工件表面上鍍制金色的氮化鈦,黑色碳化鈦,七彩的氮氧化鈦等。亦可鍍防腐蝕膜(如AL,Cr不銹鋼及TiN等)和耐磨膜,膜層與基底結(jié)合牢固,適合于手表、五金餐具、陶瓷及要求磨超硬的刀具,模具等,具有很好的發(fā)展前景。 多弧磁控鍍膜機(jī) 使用及維護(hù) 使用前各電源開(kāi)關(guān)及操作按鈕應(yīng)處于斷開(kāi)位置,接通水源,氣源,電源。 1)打開(kāi)真空控制電源開(kāi)關(guān)。 2)開(kāi)維持泵對(duì)擴(kuò)散泵抽低真空,并測(cè)量前級(jí)真空度。 3)待前級(jí)壓力達(dá)到5.0*10pa后,開(kāi)擴(kuò)散泵加熱。 4)開(kāi)充氣閥,對(duì)鍍膜室充氣,打開(kāi)鍍膜室門,裝好清洗干凈的工件,關(guān)好爐門。 5)待擴(kuò)散泵正常工作一小時(shí)后,開(kāi)機(jī)械泵開(kāi)預(yù)抽閥,對(duì)真空室手抽真空至1.0*103pa,然后開(kāi)羅茨泵。 6)當(dāng)壓力達(dá)到3.0*10pa后,關(guān)預(yù)抽閥,開(kāi)前級(jí)閥。開(kāi)高真閥,對(duì)鍍膜室抽高真空。 7)當(dāng)真空室壓力達(dá)到8*10-3pa后開(kāi)工作旋轉(zhuǎn),并開(kāi)加熱至設(shè)定值。 8)開(kāi)始鍍膜操作程序。 9)鍍膜操作程序結(jié)束。 10)降爐溫至100oC以下,打開(kāi)充氣閥爐門取出工件,每一爐使用之前對(duì)爐內(nèi)進(jìn)行清潔。 11)一個(gè)工作周期后,要用吸塵器把鍍膜室內(nèi)的粉塵吸干凈,避免短路或污染真空系統(tǒng)。 12)經(jīng)過(guò)一段時(shí)間要取下?lián)醢暹M(jìn)行清洗。
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